核心技術(shù)
core technology
您當(dāng)前位置：首頁 > 真空技術(shù) 超高真空（Ultra High Vacuum，UHV）是指壓力低于1×10-8mbar的真空狀態(tài)。在這種環(huán)境下，氣體分子的數(shù)量非常稀少，平均自由程約數(shù)十公里，處于分子流狀態(tài)，幾乎所有分子相互作用都發(fā)生在腔體的各個表面上。典型的固體表面原子密度約為1015cm-2，假設(shè)碰撞到表面上的分子完全被吸附，在10-6mbar的真空壓力下形成分子單層僅需幾秒，而在10-10mbar或10-11mbar真空下時，形成單分子層的時間則達(dá)幾小時到幾十小時，因此，潔凈的材料表面都必須在超高真空環(huán)境下獲得和保持。
UHV技術(shù)的應(yīng)用廣泛覆蓋多個領(lǐng)域，包括材料科學(xué)、表面科學(xué)、半導(dǎo)體工業(yè)和光學(xué)研究等。在超高真空的環(huán)境中，研究者能夠更加準(zhǔn)確地深入研究材料的特性、探索表面化學(xué)反應(yīng)和微觀結(jié)構(gòu)，同時應(yīng)用于制造高性能電子器件等前沿領(lǐng)域。
超高真空技術(shù)主要涉及超高真空的獲取、測量和維持，以及UHV條件下的運動。費勉儀器已成功掌握超高真空狀態(tài)下涉及的一系列精密而復(fù)雜的技術(shù)，包括高效的真空泵系統(tǒng)、特殊材料的選擇和處理、精密的真空腔室設(shè)計，以及準(zhǔn)確的真空測量和控制系統(tǒng)。這些技術(shù)的綜合運用使得超高真空環(huán)境不僅能夠提供極低的氣體分子干擾，同時能夠穩(wěn)定地維持這種高度真空狀態(tài)。我們成功自主開發(fā)了多項真空系統(tǒng)的核心組件，獲得真空領(lǐng)域授權(quán)專利28個。
我們自產(chǎn)的真空部件，不僅能滿足用戶在超高真空環(huán)境中的多維線性和旋轉(zhuǎn)運動，并且可以實現(xiàn)真空系統(tǒng)中穩(wěn)定精準(zhǔn)傳樣。
真空部件均采用超高真空兼容材料，能夠在10-11mbar至1bar的工作氣壓范圍內(nèi)穩(wěn)定運行。
超高真空直線互聯(lián)系統(tǒng)，可集成材料制備、材料處理、材料表征和量測類等多種功能性設(shè)備，實現(xiàn)材料全生命周期的綜合物性研究。
直線互聯(lián)系統(tǒng)采用模塊化設(shè)計，拓展性強，極限真空可達(dá)10-11mbar量級。
圓形傳樣互聯(lián)系統(tǒng)基于多通道圓形傳樣系統(tǒng)的模塊化設(shè)計，結(jié)構(gòu)緊湊，運行高效。它既適用于小型實驗室級別的互聯(lián)搭建，也可以實現(xiàn)大型設(shè)備平臺的構(gòu)建。
圓形傳樣互聯(lián)系統(tǒng)極限真空可達(dá)10-11mbar量級，同時采用固體潤滑薄膜技術(shù)，可靠耐用。
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