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材料沉積表

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Ta

時間：2021.11.05來源 ：點擊次數：1793次

材料 符號（原子序數）
 熔點(℃)
 密度（g/cm3）
 Z-Ratio
 飽和蒸氣壓溫度(℃)
 建議蒸發源*
 建議坩堝*
 注意事項
E-8Torr
 E-6 Torr
 E-4Torr
鉭 Ta（73）
 2996 16.65 0.262 1960 2240
 2590
 E38EB/EBV


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